等离子去胶设备

产品详情

SVU-2000 是国内先进的灰化及蚀刻系统,专为200mm以下晶圆而设计,采用真空传送机械手,以极具价格的竞争力提供优异的性能


特性

  • 双工位设备

  • 每个腔体两个工位

  • 最多可定制6个腔体

  • 高密度等离子体,去胶速率高

  • 最低的运行车成本(COo)

  • 可选配不同的等离子技术

   -远程电感耦合等离子体(ICP)

   -双等离子体(ICP+射频偏压)

基于Windows的工业计算机

EtherCAT以太网控制自动化技术


应用

  • 聚合物剥离

  • 金属剥离

  • 掩膜材料去除

  • 高剂量离子注入后光刻胶去除

  • 碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟生产线光刻胶去除

    晶圆表面预处理




地址:珠海市金湾区红旗镇小林东成路118号
服务热线:+86 756 3331614
   
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