P03Q 系列

P03Q 系列

      P03Q系列等离子处理系统是高效的真空等离子处理设备，可用来处理不同类型的电子零件和组件，电极可多元化组合，单层处理或者采用组合的料盒电极处理，满足工厂的大批量生产需求。

特性

• 采用13.56MHz射频电源搭配自动网络匹配器；

• 电极托盘可抽取，可适应不同形状的产品；

• 可更换电极，含料盒处理；

• 小的占地面积；

• 可选配不锈钢外壳及腔体，可满足无尘需求。

用途

• 去除有机污染物

• 去除氟和其他卤素污染

• 去除金属和金属氧化物

• 改善旋涂膜敷着力

• 清洁金属接合焊盘

• 晶片凸点之前清除污染