卷对卷微波等离子处理系统
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卷对卷微波等离子处理系统

       对于处理对静电敏感的器件,微波产生的等离子体相对于射频具有明显的优势。由于在微波等离子体电场中的频率振荡较高,相对于射频等离子而言电子在转变方向之前的运动距离更短。这意味着在每个运动周期中能够到达器件表面的电子数量更少,因此使表面的电荷效应降低。由于低的表面电荷,不会使离子加速向表面运动,从而避免不希望的表面碰撞。

微波卷对卷等离子处理系统的处理速率是传统等离子设备的2倍,处理均匀性达到90%以上。

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