SEC-200 介质刻蚀设备

产品详情




适用材料


Si/Poly/SiC/GaN/Nitride/Oxide;


蚀刻速率

Nitride:   600~5000Å /min

Poly:      600~5000 Å /min

Oxide:    600~5000Å /min


晶圆尺寸

4/6/8 寸





地址:珠海市金湾区红旗镇小林东成路118号
服务热线:+86 756 3331614
   
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