对于处理对静电敏感的器件,微波产生的等离子体相对于射频具有明显的优势。由于在微波等离子体电场中的频率振荡较高,相对于射频等离子而言电子在转变方向之前的运动距离更短。这意味着在每个运动周期中能够到达器件表面的电子数量更少,因此使表面的电荷效应降至最低。由于最低的表面电荷,不会使离子加速向表面运动,从而避免不希望的表面碰撞。因此微波等离子体具有各向同性的特点,很适合于MEMS制造中的“器...
珠海宝丰堂近期发布了应用于集成电路去胶工艺的SDU1000系列全自动等离子去胶设备,SDU1000系列同时配置多达4个工艺腔,4个晶圆处理工位,这是自主研发的国产Strip设备,兼具生产率最高与占地面积最小的特点,已经激起全球客户的极大兴趣...